生产线

  集成电路设备从样机的诞生到最终上大生产线,需要一个台阶,即建立工艺实验线或工艺引导线,为设备厂商的产品最终进入大生产线提供“实战经验”。   日前,中微半导体设备(上海)有限公司于在日本举办的“SEMICONJapan2007”上宣布,推出65纳米及45纳米高端芯片加工设备,而本月11日,由芯硕半导体(中国)有限公司研制的国内首台亚微米级无掩膜(直写式)光刻机在合肥通过科技成果鉴定,一举填补